装置対応可能リスト

メーカー装置名分類解体リファブ立上げPMトラブル対応
AMATP5000CVD●●●●●
Etch●●●●●
CenutraCVD Dxz●▲▲●▲
SA-CVD●▲▲●▲
CVD Ultima HDP●▲▲●▲
Etch DPS●●●●●
Etch eMax●▲▲●▲
Etch eMxp●●●●●
EnduraPVD/DXz●●●●●
LAM(旧NVLS）※２Concept-１Dierectric●●●●●
W●●●●●
Concept-2SEQUAL●●●●●
ALTUS●●●●●
SPEED●●●●●
SABERCu Plating●●●●
その他メーカー～200mm全般蒸着装置●●●●●
Etch●●※１●※１●※１●※１
PVD●●※１●※１●※１●※１
Implant●
真空装置全般●●※１●※１●※１●※１
  • 上表は、技術的に対応可能であることを示しており、スケジュールに関しては都度ご相談となります。
    ●：対応可能　　▲：難易度に応じ対応不可の場合あり
  • 上表に未記載の装置であっても可能な場合がございますので、ご相談いただけると幸いです。
  • ※１）機種によってはご相談させていただく装置がございます。
  • ※２）弊社は、LAM社の認定業者となっており、純正部品の入手が可能です。