取扱装置

AMAT

・Centura CVD・Centura SA・Centura Wxz
・Centura Etch・ Endura・ P5000CVD
・ P5000ETCH・ PE8300

NOVELLUS

・Concept-One・Concept-Two（SEQUEL）・Concept-Two（SPEED）
・Concept-Two（ALTUS）・PEP3510 

ASM

・Eagle10  

LAM

・TCP9400・RAINBOW・TCP9600