メンテナンス対応表
メンテナンス | 改造 | 移設・解体 | |
---|---|---|---|
プロセス関連装置 | |||
真空蒸着装置 | ○ | ○ | ○ |
スパッタリング装置 | ○ | ○ | ○ |
CVD装置 | ○ | ○ | ○ |
RTA装置 | ○ | ○ | ○ |
エッチング・アッシング装置 | ○ | ○ | ○ |
プラズマクリーニング装置 | ○ | ○ | ○ |
真空関連装置 | |||
真空溶解炉 | ○ | ○ | ○ |
真空凍結乾燥炉 | ○ | ○ | ○ |
真空熱処理炉 | ○ | ○ | ○ |
リークテスト装置 | ○ | ○ | ○ |
真空機器、ポンプなど | ○ | ○ | ○ |
※ 事前に機種、仕様確認、下見、お打ち合わせのうえ、対応致します。