特徴 ＆ 利点 / Features ＆ Benefits
● Lamp Module のランプ切れを監視しLED 表示します。
- LAMP MONITOR BASE には各Chamber、ランプ毎（14 本）にLED を配列する事で各相のランプ切れ状態が容易に判断でき、製品処理中にランプ電流値のバランスエラーによりプロセス中断される事を事前に防止できます。
- LED の光量は、ランプのPowerに比例し変化します。
- ランプ切れがピンポイントで判明できる事で、メンテナンスの判断基準として有効利用出来ます。
外形寸法：90mm（H）×350mm（W）×350mm（D） ※突起物を除く
付属品
- MONITOR BASE 本体 1 台
- センサー部接続ケーブル（10m）×2 本
- 電流検出センサー 14 個×２CH＝28 個
御注文納期
● 約 1 週間