特徴 ＆ 利点　/　Features ＆ Benefits

  • 反射波によるRF電源へのダメージ低減
  • ミスマッチによるエッチレートのバラつき減少
  • クリーニングプロセスの安定化
  • わずらわしい手動チューニングを解消 （→ 装置立上げ時間の短縮）

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Schematic of the network circuit

整合範囲

パーティクルデータ （STI）