メンテナンス

メンテナンス対応表

	メンテナンス	改造	移設・解体
プロセス関連装置
真空蒸着装置	○	○	○
スパッタリング装置	○	○	○
CVD装置	○	○	○
RTA装置	○	○	○
エッチング・アッシング装置	○	○	○
プラズマクリーニング装置	○	○	○
真空関連装置
真空溶解炉	○	○	○
真空凍結乾燥炉	○	○	○
真空熱処理炉	○	○	○
リークテスト装置	○	○	○
真空機器、ポンプなど	○	○	○

※ 事前に機種、仕様確認、下見、お打ち合わせのうえ、対応致します。