半導体製造装置・改善アイテム

RF積算カウンター 【 KRFTC-P5 】/ Applied Material P-5000 RF タイムカウンター

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● RF 印加時のサイクルタイムを積算。
・外部モニターを設ける事で、プロセスキット等の適切な交換時期を管理するのに有効です。


※ 写真は2チャンバー仕様≪CH-A×2 表示、CH-B×2 表示≫
表示部h .m .s は 時、分、秒

付属ケーブル

P-5000 背面接続部
SYSTEM FLOW

 
御注文納期
● 約 3 週間
 

Lamp Monitor 【 KLAMP-02 】/ AMAT P-5000 LAMP MONIT

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● Lamp Module のランプ切れを監視しLED 表示します。
・LAMP MONITOR BASE には各Chamber、ランプ毎(14 本)にLED を配列する事で各相のランプ切れ状態が容易に判断でき、製品処理中にランプ電流値のバランスエラーによりプロセス中断される事を事前に防止できます。
・LED の光量は、ランプのPowerに比例し変化します。
・ランプ切れがピンポイントで判明できる事で、メンテナンスの判断基準として有効利用出来ます。


LAMP MONITOR BASE(2Ch 仕様)

ランプ点灯時

セットアップ例

製品一式
 
外形寸法:90mm(H)×350mm(W)×350mm(D) ※突起物を除く
付属品
・MONITOR BASE 本体 1 台
・センサー部接続ケーブル(10m)×2 本
・電流検出センサー 14 個×2CH=28 個
御注文納期
● 約 1 週間
 

Pedestalリペア【 KPR-E 】/ Applied Material P-5000 ETCH Pedestal Repair

特徴 / Features
● フラッシュメモリを使用したSCSI ハードディスク型の記憶デバイスです。
● 従来品SCSI ハードディスクとの置き換えが簡単に行えます。

利点 / Benefits
● ハードディスクのような回転体がない為、急な故障の心配がありません。
● 発熱が無く低消費電力ですので、長時間運用に向いています。


製品仕様


Pedestalリペア【 KPR-E 】/ Applied Material P-5000 ETCH Pedestal Repair

特徴 / Features
● P-5000 エッチング装置/長期運転によりペデスタル表面のアルマイト処理が磨耗。
● 正規品より安価。

利点 / Benefits
● ペデスタル表面の古いアルマイト処理をフラッシングにより除去し、新たに再処理を施工。
● 引取品を再表面処理加工する事で、半分以下のコスト、ゴミの削減。


御注文納期
● 約 3 週間

VME FAN PAK【 KFP-P5 】/ Applied Material P-5000 FAN PACK

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● 3連AC Fanユニット (Fan Kit)
・電子回路基板の冷却ユニット。(冷却Fan 3個付タイプ)
・電子回路ラック内収納型。


1.FAN 回転センサー付 ・・・ ファンの回転数低下、及び停止時に正面パネルのランプ点灯。
2.FAN の吸引側にフィルターを取り付け、ゴミの舞い上げやFan内のセンサー感度の低下を防止。
3.国産品の使用により、寿命、信頼性UP。

御注文納期
● 約 2 週間

P5 VME P/S【 KVPS-P5 】/ AMAT P5000 (20Slot)VME P/S

P5000 VME P/S(+5V、±12V)の代替品を御案内します。

特徴 & 利点 / Features & Benefits 
● 性能・信頼性のある国内メーカー品を使用。
● 電源容量に余裕をみた選定を実施しています。
( +5V : 60A、 +12V : 13A、 ±12V : 6.4A )
● メーカー推奨、EMC 対策用ノイズフィルタをセットにしました。
● AC ラインケーブル、フィルタ中継ハーネス、P/S 端子台の配線を御準備しましたので、
交換は短時間で行えます。


交換品一式

P/S 接続端子部

P/S 取付け位置

ノイズフィルタ取付け位置
御注文納期
● 約 1 週間
 

AMAT DPS Source Match コンタクト部改善 “KDPSCNT”



① アース部・・・純正品 : アルミ製 ⇒ 改善品 : 真鍮(銀メッキ処理)
効果 : 導電性向上

② 中心電極・・・純正品 : 銅 ⇒ 改善品 : ばね用銅(銀メッキ処理)
効果 : 接触性 及び 導電性向上

③ テフロン絶縁部・・・純正品 : 内部テフロン厚 3mm ⇒ 改善品 : 内部テフロン厚 7.5mm
効果 : 耐圧製向上

AMAT Centura DPS Souce Match

ポテンショカップリング改善改造を御案内します。

1.主な故障の原因
◆ポテンショメータの破損
 ポテンショメータのシャフトの中心がカップリングに対しズレがあるためポテンショメータシャフトに負荷がかかり故障に至るケースが多発しております。
 ・取付ブラケットの精度が悪い
 ・純正ポテンショカップリングが硬い
 ポテンショメータが故障すると、バリコンの位置検出が出来なくなりモーター制御ができず、バリコンのカップリングの破損もしくはバリコンの故障に至ってします。

 

2.改善内容
◆ポテンショメータの取付方法の変更
弊社では最初にカップリングをフレキシブルタイプに変更しましたがブラケットのズレをカバーしきれず短期間で故障に至ってしまいました。この経験を踏まえ、改善の改善として1:1のギアを採用いたしました。