半導体製造装置・改善アイテム

AMAT P5000 ROBOT O/H

Features/Benefits
● 高屈曲性リボンケーブルの採用

フラットケーブル(34,16pos)は高屈曲性長寿命のリボンケーブルを採用しています。
「この高屈曲性長寿命ケーブルは、直径44.5 mm (1 3/4 インチ)で1 億回の利用が可能。
高強度銅合金の19 ストランドで構成されており、動力系用途において最長の屈曲寿命。
絶縁抵抗>1 x 1010 Ω / 10 フィート(3 m) 高屈曲性:UL 認定」


● P5000 実機による動作試験
オーバーホール後の動作チェックはP5000 実機にて行います。
お客様と同じ環境下に於いて、問題ない事を確認し出荷致します。
● ホームセンサー(Ext、Rot)の変更
外部ノイズに強く、信頼性の高い国内メーカー品へ変更します。
(*Chopper Drive PCB からのノイズにも影響を受けません)
AMAT P5000 ROBOT O/H

AMAT P5000 DC P/S 【KAE-061-00】

P5000 DC P/Sの改善品を御案内します。

Features/Benefits
●従来のパワーサプライは故障が多く、部品入手も困難でダウンタイムが長期になります。 今回、故障頻度の特に多い24V、及び48V P/Sを、性能・信頼性の高い国内メーカー品へ変更することで故障率の低減を図ります。

● 新たに大型空冷AC-FAN、及びメーカー推奨EMC対策用ノイズフィルタを増設します。
P5000 DC P/S

P5 VME P/S【 KVPS-P5 】/ AMAT P5000 (20Slot)VME P/S

P5000 VME P/S(+5V、±12V)の代替品を御案内します。

特徴 & 利点 / Features & Benefits 
● 性能・信頼性のある国内メーカー品を使用。
● 電源容量に余裕をみた選定を実施しています。
( +5V : 60A、 +12V : 13A、 ±12V : 6.4A )
● メーカー推奨、EMC 対策用ノイズフィルタをセットにしました。
● AC ラインケーブル、フィルタ中継ハーネス、P/S 端子台の配線を御準備しましたので、
交換は短時間で行えます。


交換品一式

P/S 接続端子部

P/S 取付け位置

ノイズフィルタ取付け位置
御注文納期
● 約 1ヶ月
 

ハードディスク(フラッシュメモリ)

特徴 / Features
● フラッシュメモリを使用したSCSI ハードディスク型の記憶デバイスです。
● 従来品SCSI ハードディスクとの置き換えが簡単に行えます。

利点 / Benefits
● ハードディスクのような回転体がない為、急な故障の心配がありません。
● 発熱が無く低消費電力ですので、長時間運用に向いています。


製品仕様


AMAT DPS Source Match コンタクト部改善 “KDPSCNT”



① アース部・・・純正品 : アルミ製 ⇒ 改善品 : 真鍮(銀メッキ処理)
効果 : 導電性向上

② 中心電極・・・純正品 : 銅 ⇒ 改善品 : ばね用銅(銀メッキ処理)
効果 : 接触性 及び 導電性向上

③ テフロン絶縁部・・・純正品 : 内部テフロン厚 3mm ⇒ 改善品 : 内部テフロン厚 7.5mm
効果 : 耐圧製向上

AMAT Centura DPS Souce Match

ポテンショカップリング改善改造を御案内します。

1.主な故障の原因
◆ポテンショメータの破損
 ポテンショメータのシャフトの中心がカップリングに対しズレがあるためポテンショメータシャフトに負荷がかかり故障に至るケースが多発しております。
 ・取付ブラケットの精度が悪い
 ・純正ポテンショカップリングが硬い
 ポテンショメータが故障すると、バリコンの位置検出が出来なくなりモーター制御ができず、バリコンのカップリングの破損もしくはバリコンの故障に至ってします。

 

2.改善内容
◆ポテンショメータの取付方法の変更
弊社では最初にカップリングをフレキシブルタイプに変更しましたがブラケットのズレをカバーしきれず短期間で故障に至ってしまいました。この経験を踏まえ、改善の改善として1:1のギアを採用いたしました。 
 
          

Lamp Monitor 【 KLAMP-02 】/ AMAT P-5000 LAMP MONIT

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● Lamp Module のランプ切れを監視しLED 表示します。
・LAMP MONITOR BASE には各Chamber、ランプ毎(14 本)にLED を配列する事で各相のランプ切れ状態が容易に判断でき、製品処理中にランプ電流値のバランスエラーによりプロセス中断される事を事前に防止できます。
・LED の光量は、ランプのPowerに比例し変化します。
・ランプ切れがピンポイントで判明できる事で、メンテナンスの判断基準として有効利用出来ます。


LAMP MONITOR BASE(2Ch 仕様)

ランプ点灯時

セットアップ例

製品一式
 
外形寸法:90mm(H)×350mm(W)×350mm(D) ※突起物を除く
付属品
・MONITOR BASE 本体 1 台
・センサー部接続ケーブル(10m)×2 本
・電流検出センサー 14 個×2CH=28 個
御注文納期
● 約 1 週間