半導体製造装置・改善アイテム

特徴 ＆ 利点　/　Features ＆ Benefits

● RF 印加時のサイクルタイムを積算。
・外部モニターを設ける事で、プロセスキット等の適切な交換時期を管理するのに有効です。

御注文納期

● 約 3 週間

特徴 ＆ 利点　/　Features ＆ Benefits

● Lamp Module のランプ切れを監視しLED 表示します。

• LAMP MONITOR BASE には各Chamber、ランプ毎（14 本）にLED を配列する事で各相のランプ切れ状態が容易に判断でき、製品処理中にランプ電流値のバランスエラーによりプロセス中断される事を事前に防止できます。
• LED の光量は、ランプのPowerに比例し変化します。
• ランプ切れがピンポイントで判明できる事で、メンテナンスの判断基準として有効利用出来ます。

付属品

• MONITOR BASE 本体 1 台
• センサー部接続ケーブル（10m）×2 本
• 電流検出センサー 14 個×２CH＝28 個

御注文納期

● 約 5 週間

特徴　/　Features

● フラッシュメモリを使用したSCSI ハードディスク型の記憶デバイスです。
● 従来品SCSI ハードディスクとの置き換えが簡単に行えます。

利点　/　Benefits

● ハードディスクのような回転体がない為、急な故障の心配がありません。
● 発熱が無く低消費電力ですので、長時間運用に向いています。

製品仕様

特徴　/　Features

● P-5000 エッチング装置/長期運転によりペデスタル表面のアルマイト処理が磨耗。
● 正規品より安価。

利点　/　Benefits

● ペデスタル表面の古いアルマイト処理をフラッシングにより除去し、新たに再処理を施工。
● 引取品を再表面処理加工する事で、半分以下のコスト、ゴミの削減。

御注文納期

● 約 3 週間

特徴 ＆ 利点　/　Features ＆ Benefits

● ３連AC Ｆａｎユニット （Ｆａｎ Ｋｉｔ）

• 電子回路基板の冷却ユニット。（冷却Ｆａｎ ３個付タイプ）
• 電子回路ラック内収納型。

1. FAN 回転センサー付 ・・・ ファンの回転数低下、及び停止時に正面パネルのランプ点灯。
2. FAN の吸引側にフィルターを取り付け、ゴミの舞い上げやＦａｎ内のセンサー感度の低下を防止。
3. 国産品の使用により、寿命、信頼性UP。

御注文納期

● 約 2 週間

P5000 VME P/S（＋5V、±12V）の代替品を御案内します。

特徴 ＆ 利点　/　Features ＆ Benefits　

● 性能・信頼性のある国内メーカー品を使用。
● 電源容量に余裕をみた選定を実施しています。
　　 （ ＋５V ： ６０A、 ＋１２V ： １３A、 ±１２V ： ６．４A ）
● メーカー推奨、EMC 対策用ノイズフィルタをセットにしました。
● AC ラインケーブル、フィルタ中継ハーネス、P/S 端子台の配線を御準備しましたので、
　 交換は短時間で行えます。

特徴　/　Features

● ５点式測定方法により、“正確” に “短時間” での水平出しが可能です。
● 他の水平出し方法に比べ再現性が向上します。

利点　/　Benefits

● CVD Process サセプターサイズは、１２５ ～ ２００mm まで使用可能です。
● 水平状態が数値化され、測定時に於ける個人差が無くなり、数値管理が可能になります。
● インジケータ本体は精度の高い国内メーカー品（ミリ仕様）を採用。
　 ミル表示（１メモリ＝0.025mm）に比べ、１メモリ＝0.01mm になる為、精度良く
　 調整出来ます。
● 純正品と比べ、リーズナブルな価格でご提供致します。

御注文納期

● 約 1.5 ヶ月

特徴　/　Features

● 各ステーションとマッチングBOX 出力部のRF 電圧（アナログ0-10V）を表示及び
　 出力します。
● 各ステーションに閾値を設定、電圧の異常（異常上昇もしくは低下）を表示、
　 外部へ出力します。
● PLCにSDカードを挿入すると、放電期間中の各ステーションの電圧値をログイングします。
● 各ステーションのRF 印加時間を積算表示します。
● クリーニングSTEP の終点検出（C1D のみ装置へフィードバック可能）

利点　/　Benefits

● Deposition Rate の異常検出
● 搬送エラーの検出
● 各ステーション（シャワーヘッド、ヒーターブロック）の異常検出
● 装置メンテナンスの管理

構成品

動作環境

周囲温度 ： 0～40℃
湿度 　　： 85%未満 結露、多量の粉塵なきこと
入力電源 ： AC85～242V、1A 未満（250V / 1A フューズで保護）

外形寸法：本体：480mm（W）×150mm（H）×350mm（D）突起部を除く。
（JIS 19インチラックマウント用ケース）

利点　/　Benefits

● 反射波によるRF 電源へのダメージ低減。
● ミスマッチによるエッチレートのバラつき減少。
● クリーニングプロセスの安定化。
● わずらわしい手動チューニングを解消。 （→ 装置立上げ時間の短縮）

御注文納期

● 約 5 週間

特徴 ＆ 利点　/　Features ＆ Benefits

● 使用経過年数(熱)によるケーブル被膜の劣化による絶縁不良が発生。

• 古いケーブルASSY を全て取り外し、新規改良ケーブルに交換により正常動作を確保。
• 装置側過電流防止ヒューズの他にケーブル中継部に新規ヒューズボックスを取付けた事で更に安全性を高めます。

ケーブル仕様 ※ ケーブル長 L=3000mm 耐熱 60℃ 耐圧 600V

御注文納期

● 約 1 週間

特徴 ＆ 利点　/　Features ＆ Benefits　

● AC Line Filter の経年劣化による120VAC ラインの不具合が発生します。

• 各電源系（Quad DC Power Supply、24v DC Power Supply、UI Computer）のAC Filterの経年劣化が原因で正常に電源が供給されない事があります。これにより新規改良AC Line Filter Kit に交換する事で正常動作を維持できます。
• 内部Filter は国内メーカー製を使用。純正品に比べ信頼性が高く、コンパクトです。
• 既存のFilter BOX はそのまま使用し、新規改良 AC Filter Kit を取付けするだけの簡単設計なので従来の物に比べ交換作業効率がUPしています。

御注文納期

● 約 3 週間

特徴 ＆ 利点　/　Features ＆ Benefits

● Mixing Bowl 全体を温調管理し、液体TEOS を完全に気化させます。

• 既存のヒーテッドトロンボーン（HIM）の他にTop Plate 上のMixing Bowl 全体（Top /Side Wall）を温調管理し、液体TEOS を完全に気化させます。
• Mixing Bowl 全体を温調管理する事で内部の温度バラツキによるパーティクル発生を防止します。

温度コントローラー外形寸法

280mm（H）×135mm（W）×280mm（D）

温度コントローラーSPEC

電源：100～120VAC
電流容量：20A
制御方式：ゼロ電圧スイッチング制御方式
入力種類：熱伝対K

Mixing Bowl Heater Spec

Heater Top：90W
Heater Side：55W

御注文納期

● 約 1.5 ヶ月

特徴 ＆ 利点　/　Features ＆ Benefits

● 国産ステッピングモーター採用

• 高分解能、低振動、信頼性UP
• 脱調しない （ローター位置検出センサーがモーターに内臓、回転速度・回転量を監視）

● リフトモーターカップリングの変更

• ストレート直結タイプ（純正品）をフレキシブルタイプに変更することで振動防止、ベアリングの延命化

● モーターケーブルの変更

• ケーブル可動部の断線対策として、専用ロボットケーブルへ変更

● ロボットフレームの変更

• 純正ロボットフレーム（鋳物）の歪み対策として フレームの新規製作を実施

● アラーム機能の追加

• ドライバに過負荷が連続して加わった場合、アラーム信号を出力しモーターを自然停止

● リフトモーターの電磁ブレーキ化

• ブレーキパッドの交換・調整が不要

● ホームセンサーの変更

• 国産品に変更し性能、信頼性ＵＰ。 ケーブルは汎用ロボットケーブル仕様。

アラーム機能

ドライバBOX ALARM LED の点滅回数で異常を特定できます。

ASSY 一覧

● ロボット本体 ×１台
● ドライバーBOX ×１台 ＜外形寸法300mm(W)×130mm(H)×225mm(D)突起部を除く。
● モーターケーブル ×１本
● 信号ケーブル ×１本
● 電磁Ｂk ケーブル ×１本
● アラームＬＥＤボックス ×１（アラーム対処マニュアルカード付属）
※ メガパック対応 インターフェイスボックス ×１台
※ メガパック用電源ケーブル〈ＩＮ側〉 ×１本
※ メガパック用電源ケーブル〈ＯＵＴ側〉 ×１本
※ メガパック用制御ケーブル ×１本

御注文納期

● 約 1 ヶ月

特徴 　/　Features

● フローティングジョイントをシリンダ軸へ追加する事により、芯ズレを吸収します。
● フォトセンサーを性能の高い国産品へ変更します。（ON/OFF をLED で確認できます。）
● センサーラインに中継コネクタを設けることでメンテ作業の改善を図ります。

利点　/　Benefits　

● 細かいスピコン調整が可能になり、スムーズな上下動作を長期で持続できます。
● エアシリンダー、ベアリング等の消耗度が減り、ＭＴＴＦに貢献します。
● リアクターチャンバー内での搬送トラブル低減に寄与します。

特徴 　/　Features

● 経年劣化により既存の銅製冷却水配管が腐食を起こし、漏水が発生します。
● 純正品（新品）では高額になります。 “約150 万円！”。

利点　/　Benefits　

● 冷却水流量、冷却効率UP。
● 現使用プレートを引取り、再加工する事で大幅なコスト削減。

御注文納期

● 約 3　週間