取扱装置一覧

AMAT

・ Centura CVD	・ Centura SA
・ Centura Wxz	・ Centura Etch
・ Endura	・ P5000CVD
・ P5000ETCH	・ PE8300

NOVELLUS

・ Concept-One	・ Concept-Two（SEQUEL）
・ Concept-Two（SPEED）	・ Concept-Two（ALTUS）
・ PEP3510

ASM

・ Eagle10

LAM

・ TCP9400	・ RAINBOW
・ TCP9600

CANON

・ MAS801

・ MAS8000

HITACHI

・ M308

・ M318

TEL

・ TEL480/580	・ TE5000
・ TE8400/8500	・ UL-2604

NISSIN

・ NH-20S	・ NH-20SR-B
・ NH-20SR-F

MATRIX

・ SYSTEM-1

・ SYSTEM-10

NOVA

・ NV-10GSD	・ NV-10-60
・ NV-10SD-80

STRAUSBAUGH

・ 60S-SP

AVIZA TECHNOLOGY

・ WS-999	・ WS-TEOS999
・ WS-1000T	・ WS-1000S

MRC

・ ECLIPSE

GENUS

・ 6000

国際電気

・ DD802VC

WAFERMASTER

・ SRTF-200

・ DD833V6B