半導体製造装置・改善アイテム

RF積算カウンター 【 KRFTC-P5 】/ Applied Material P-5000 RF タイムカウンター

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● RF 印加時のサイクルタイムを積算。
・外部モニターを設ける事で、プロセスキット等の適切な交換時期を管理するのに有効です。


※ 写真は2チャンバー仕様≪CH-A×2 表示、CH-B×2 表示≫
表示部h .m .s は 時、分、秒

付属ケーブル

P-5000 背面接続部
SYSTEM FLOW

 
御注文納期
● 約 3 週間
 

Lamp Monitor 【 KLAMP-02 】/ AMAT P-5000 LAMP MONIT

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● Lamp Module のランプ切れを監視しLED 表示します。
・LAMP MONITOR BASE には各Chamber、ランプ毎(14 本)にLED を配列する事で各相のランプ切れ状態が容易に判断でき、製品処理中にランプ電流値のバランスエラーによりプロセス中断される事を事前に防止できます。
・LED の光量は、ランプのPowerに比例し変化します。
・ランプ切れがピンポイントで判明できる事で、メンテナンスの判断基準として有効利用出来ます。


LAMP MONITOR BASE(2Ch 仕様)

ランプ点灯時

セットアップ例

製品一式
 
外形寸法:90mm(H)×350mm(W)×350mm(D) ※突起物を除く
付属品
・MONITOR BASE 本体 1 台
・センサー部接続ケーブル(10m)×2 本
・電流検出センサー 14 個×2CH=28 個
御注文納期
● 約 1 週間
 

Pedestalリペア【 KPR-E 】/ Applied Material P-5000 ETCH Pedestal Repair

特徴 / Features
● フラッシュメモリを使用したSCSI ハードディスク型の記憶デバイスです。
● 従来品SCSI ハードディスクとの置き換えが簡単に行えます。

利点 / Benefits
● ハードディスクのような回転体がない為、急な故障の心配がありません。
● 発熱が無く低消費電力ですので、長時間運用に向いています。


製品仕様


Pedestalリペア【 KPR-E 】/ Applied Material P-5000 ETCH Pedestal Repair

特徴 / Features
● P-5000 エッチング装置/長期運転によりペデスタル表面のアルマイト処理が磨耗。
● 正規品より安価。

利点 / Benefits
● ペデスタル表面の古いアルマイト処理をフラッシングにより除去し、新たに再処理を施工。
● 引取品を再表面処理加工する事で、半分以下のコスト、ゴミの削減。


御注文納期
● 約 3 週間

VME FAN PAK【 KFP-P5 】/ Applied Material P-5000 FAN PACK

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● 3連AC Fanユニット (Fan Kit)
・電子回路基板の冷却ユニット。(冷却Fan 3個付タイプ)
・電子回路ラック内収納型。


1.FAN 回転センサー付 ・・・ ファンの回転数低下、及び停止時に正面パネルのランプ点灯。
2.FAN の吸引側にフィルターを取り付け、ゴミの舞い上げやFan内のセンサー感度の低下を防止。
3.国産品の使用により、寿命、信頼性UP。

御注文納期
● 約 2 週間

P5 VME P/S【 KVPS-P5 】/ AMAT P5000 (20Slot)VME P/S

P5000 VME P/S(+5V、±12V)の代替品を御案内します。

特徴 & 利点 / Features & Benefits 
● 性能・信頼性のある国内メーカー品を使用。
● 電源容量に余裕をみた選定を実施しています。
( +5V : 60A、 +12V : 13A、 ±12V : 6.4A )
● メーカー推奨、EMC 対策用ノイズフィルタをセットにしました。
● AC ラインケーブル、フィルタ中継ハーネス、P/S 端子台の配線を御準備しましたので、
交換は短時間で行えます。


交換品一式

P/S 接続端子部

P/S 取付け位置

ノイズフィルタ取付け位置
御注文納期
● 約 1 週間
 

AMAT DPS Source Match コンタクト部改善 “KDPSCNT”



① アース部・・・純正品 : アルミ製 ⇒ 改善品 : 真鍮(銀メッキ処理)
効果 : 導電性向上

② 中心電極・・・純正品 : 銅 ⇒ 改善品 : ばね用銅(銀メッキ処理)
効果 : 接触性 及び 導電性向上

③ テフロン絶縁部・・・純正品 : 内部テフロン厚 3mm ⇒ 改善品 : 内部テフロン厚 7.5mm
効果 : 耐圧製向上

AMAT Centura DPS Souce Match

ポテンショカップリング改善改造を御案内します。

1.主な故障の原因
◆ポテンショメータの破損
 ポテンショメータのシャフトの中心がカップリングに対しズレがあるためポテンショメータシャフトに負荷がかかり故障に至るケースが多発しております。
 ・取付ブラケットの精度が悪い
 ・純正ポテンショカップリングが硬い
 ポテンショメータが故障すると、バリコンの位置検出が出来なくなりモーター制御ができず、バリコンのカップリングの破損もしくはバリコンの故障に至ってします。

 

2.改善内容
◆ポテンショメータの取付方法の変更
弊社では最初にカップリングをフレキシブルタイプに変更しましたがブラケットのズレをカバーしきれず短期間で故障に至ってしまいました。この経験を踏まえ、改善の改善として1:1のギアを採用いたしました。 
 
          

C1 DC Power Cableリペア【 KPBC 】/ Novellus Concept-One Power Board Cable Assy

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● 使用経過年数(熱)によるケーブル被膜の劣化による絶縁不良が発生。
古いケーブルASSY を全て取り外し、新規改良ケーブルに交換により正常動作を確保。
装置側過電流防止ヒューズの他にケーブル中継部に新規ヒューズボックスを取付けた事で更に安全性を高めます。


ケーブルASSY

ケーブル末端(12 本

過電流防止用ヒューズボックス

装置電源既存ケーブル

装置既存Multibus Power PCB 裏面
 
装置電源改良ケーブル

改良後 Multibus Power PCB 裏面
ケーブル仕様 ※ ケーブル長 L=3000mm 耐熱 60℃ 耐圧 600V
2sq 5VT 5.5sq +15V
  5V(+S)   -15V
  5V(-S)   +15V RTN
  5V RTN T   GND ストライプ
  +24V 14sq 5V M
  -24V   5V RTN
御注文納期
● 約 1 週間
 

C1 AC Filter 【 KFLB 】/ Novellus Concept-One AC Filter BOX 改善 Kit

特徴 & 利点 / Features & Benefits 
● AC Line Filter の経年劣化による120VAC ラインの不具合が発生します。
各電源系(Quad DC Power Supply、24v DC Power Supply、UI Computer)のAC Filterの経年劣化が原因で正常に電源が供給されない事があります。これにより新規改良AC Line Filter Kit に交換する事で正常動作を維持できます。
内部Filter は国内メーカー製を使用。純正品に比べ信頼性が高く、コンパクトです。
既存のFilter BOX はそのまま使用し、新規改良 AC Filter Kit を取付けするだけの簡単設計なので従来の物に比べ交換作業効率がUPしています。


既存AC Filter BOX 既存

既存 AC Filter BOX 正面内部
 
既存 AC Line Filter
 

新規改良 AC Filter BOX 全体
 

既存 AC Filter BOX 正面内部
 
 
既存 AC Filter BOX 正面内部
 
既存 AC Filter BOX 正面内部  

御注文納期

● 約 3 週間
 


C1 Mixing Heater 【 KMBH 】/ Novellus Concept-One Mixing Bowl Heater For/C1D

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● Mixing Bowl 全体を温調管理し、液体TEOS を完全に気化させます。
既存のヒーテッドトロンボーン(HIM)の他にTop Plate 上のMixing Bowl 全体(Top /Side Wall)を温調管理し、液体TEOS を完全に気化させます。
Mixing Bowl 全体を温調管理する事で内部の温度バラツキによるパーティクル発生を防止します。

   
 製品一式  製品一式
   
 Mixing Bowl Heater Top  Mixing Bowl Heater Side
  
温度コントローラー外形寸法
280mm(H)×135mm(W)×280mm(D)

温度コントローラーSPEC
電源:100~120VAC電流容量:20A制御方式:ゼロ電圧スイッチング制御方式入力種類:熱伝対K

Mixing Bowl Heater Spec
Heater Top:90WHeater Side:55W

御注文納期
● 約 1.5 ヶ月

C1 Robot 【 KWTM-02 】/ Novellus Concept-One One Arm Robot 改善改造

特徴 & 利点 / Features & Benefits
● 国産ステッピングモーター採用
高分解能、低振動、信頼性UP
脱調しない (ローター位置検出センサーがモーターに内臓、回転速度・回転量を監視)
● リフトモーターカップリングの変更
ストレート直結タイプ(純正品)をフレキシブルタイプに変更することで振動防止、ベアリングの延命化
● モーターケーブルの変更
ケーブル可動部の断線対策として、専用ロボットケーブルへ変更
● ロボットフレームの変更
純正ロボットフレーム(鋳物)の歪み対策として フレームの新規製作を実施
● アラーム機能の追加
ドライバに過負荷が連続して加わった場合、アラーム信号を出力しモーターを自然停止
● リフトモーターの電磁ブレーキ化
ブレーキパッドの交換・調整が不要
● ホームセンサーの変更
国産品に変更し性能、信頼性UP。 ケーブルは汎用ロボットケーブル仕様。

   

ROBOT 本体外観

Driver Box

ALARM LED BOX
ALARM LED BOX


アラーム機能
ドライバBOX ALARM LED の点滅回数で異常を特定できます。


ASSY 一覧
● ロボット本体 ×1台
● ドライバーBOX ×1台 <外形寸法300mm(W)×130mm(H)×225mm(D)突起部を除く。
● モーターケーブル ×1本
● 信号ケーブル ×1本
● 電磁Bk ケーブル ×1本
● アラームLEDボックス ×1(アラーム対処マニュアルカード付属)
※ メガパック対応 インターフェイスボックス ×1台
※ メガパック用電源ケーブル〈IN側〉 ×1本
※ メガパック用電源ケーブル〈OUT側〉 ×1本
※ メガパック用制御ケーブル ×1本

Spindle 改良品 【 KSFJ-C1D 】/ Novellus C1-D Spindle Indexer 改良品

特徴  / Features
● フローティングジョイントをシリンダ軸へ追加する事により、芯ズレを吸収します。
● フォトセンサーを性能の高い国産品へ変更します。(ON/OFF をLED で確認できます。)
● センサーラインに中継コネクタを設けることでメンテ作業の改善を図ります。

利点 / Benefits 
● 細かいスピコン調整が可能になり、スムーズな上下動作を長期で持続できます。
● エアシリンダー、ベアリング等の消耗度が減り、MTTFに貢献します。
● リアクターチャンバー内での搬送トラブル低減に寄与します。



 
               追加/交換パーツ一式

Trazer AMU2-1改善改造 “AMU2-1K”

●改善項目
①現行でセラミックコンデンサ(100pF×9個)が実装されているが発熱によりロウ付けの剥離、焼損等不具合が多発の為、耐久性UPのセラミックコンデンサ(150pF×6個)に変更
②出力トランスリペアを実施
③エアバリコンのコンタクト部強化⇒エアバリコンコンタクト部で電気的接点不良を起こしベアリング部に電流が流れてしまい焼損に至る為、軸部ベアリング及び接点を交換
④モーター(純正同品)及びモーター用プーリー(国産改良品)を交換
⑤タイミングベルト(国産準拠品)を交換





作業の流れ



➢御注文納期 約3~4週間

Top/Bottom Plateリペア【KTPW】/ Novellus Concept-One Top/Bottom Plate Waterline O/H

特徴  / Features
● 経年劣化により既存の銅製冷却水配管が腐食を起こし、漏水が発生します。
● 純正品(新品)では高額になります。 “約150 万円!”

利点 / Benefits
● 冷却水流量、冷却効率UP。
● 現使用プレートを引取り、再加工する事で大幅なコスト削減。



御注文納期
● 約 3週間

Concept-One DC P/S “KQPS-C1”

Concept-One DC P/S(QUAD & 24VDC)の代替品を御案内します。

Features/Benefits
● 電源は、性能・信頼性のある国内メーカー品を使用。
● 電源容量に余裕のある選定を実施しています。
 ( +5VM:60A、+5VT:26A、±15V:10A、+24V:14A )
● P/S固定用プレート+端子台(タッチダウン形)のアッセンブリでご提供致します。
 *標準ワイヤーをそのまま取付けられ、短時間で交換可能
● 安全性を考慮し、QUAD P/S上部へ保護カバーを設けました。



Novellus Concept-One Backside Monitor “KVGM-1/KVGM-2”

Features and Benefits
●Concept-One バックサイド側 表示液晶モニター 及び 2点プッシュ式切替機構。
 ➢15インチVGA液晶モニターを採用。
 ➢切替部を 旧)機械式⇒新)プッシュ式へ改良。



◎バックサイド設置外観≪KVGM-2 (フロッピー有タイプ)≫



    ◎液晶表示部設定ボタン            ◎2点プッシュ式切替器(フロント/サイド)

◎LCD Monitor Spec 


◎付属品
・ビデオ信号ケーブル(Front)1.0m×1本
・ビデオ信号ケーブル(Side)1.0m×1本

Concept-One APCコントローラー “KAPC-C1D”

Concept-One AC-2/ACR-28の代替品を御案内します。

Features/Benefits
● C1-D標準仕様のAC-2/ACR-28は、現在 製造中止品となっており、装置メーカー代替え品につきましてはかなり高額となります。修理は未だ可能ですが、一部部品の入手不可、又 経年劣化の影響で安価では収まらなくなってきています。
● 機能的には今までと同様、互換品となります。
 * 装置側通信ソフト対応の為、内部改良していますのでC1-D専用となります。
● 取付けパネル一式でご準備しましたので、短時間で交換が可能です。


AUTOMATCH KAM-SP201CLN For C2 Speed

特徴 & 利点 / Features & Benefits
●反射波によるRF電源へのダメージ低減
●ミスマッチによるエッチレートのバラつき減少
●クリーニングプロセスの安定化
●わずらわしい手動チューニングを解消 (→ 装置立上げ時間の短縮)

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Schematic of the network circuit



整合範囲



反射波の比較



パーティクルデータ (STI)